海外半导体设备巨头巡礼系列:探寻泛林(LAM)成为刻蚀设备龙头的技术&成长逻辑
泛林半导体( Lam Research)以刻蚀设备起家,通过自主研发和多次并购成长为半导体设备行业巨头。 泛林半导体于1980年成立, 1984年在美国纳斯达克证券交易所上市。公司早期深耕刻蚀设备, 1981年推出首款刻蚀设备产品AutoEtch480, 1992年推出首款电容耦合等离子体刻蚀机, 1995年推出首款双频介质刻蚀机,不断巩固刻蚀市场龙头地位。 2006年后,公司开始通过并购的方式外扩产品线, 2008年收购晶圆清洁设备供应商SEZ AG, 2012年收购薄膜沉积设备商Novellus Systems,自此公司形成以刻蚀、薄膜沉积、清洁为核心的三大主营业务板块。